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干式螺桿真空泵的技術運用和特點

作者:市場部??來源:德耐爾公司??時間:2023-04-07 11:23??點擊:

干式螺桿真空泵,是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。螺桿式干式真空泵的工作過程可分為吸氣、壓縮和排氣三個過程。隨著轉子的旋轉,每對相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環,現在以其中一對齒來說明。吸氣過程,陽轉子按逆時針方向旋轉,陰螺桿按順時針方向旋轉。
1、特征
可靠性高。螺桿式干式真空泵零部件少,沒有易損件,因此它運轉可靠,壽命長。
操作維護方便。
動力平衡性好。螺桿式干式真空泵沒有不平衡的慣性力,機器可平穩地高速運行。
適應性強。螺桿式干式真空泵具有強制輸氣的特點,在寬廣的壓力范圍內能保持較高的抽速,排氣量幾乎不受排氣壓力的影響.
多相混輸。由于螺桿式干式真空泵轉子齒面間留有微小間隙,因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體。
2、應用
螺桿式干式真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫藥、食品工業等領域。在半導體工業中用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD制程。
在核工業中用于核反應堆及核工業真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑,在脂肪酸生產中用來消除水污染,清除噴射器中的阻塞物;醫藥工業中用于回收藥液及藥物中間體,為人造器官生產提供清潔無菌條件,回收氣體消毒劑;食品工業中用于香料、香精濃縮,食品包裝等。
應用范圍極為廣泛。具體如下:
具體應用:干燥處理、真空蒸餾、分子蒸餾、溶劑的回收、油氣回收、工廠普通真空、電子、真空鍍膜、航空、核工業領域 能夠抽除普通空氣,易燃易爆氣體、腐蝕性氣體,尤其能滿足對獲得清潔真空要求較高的環境。具體應用:真空鍍膜、真空蒸餾、真空干燥、拉單晶、特氣制造、離子刻蝕等。
紡織、冶金等行業 在氨綸、芳綸、纖維、冶金等相關工藝中應用干式真空泵, 具體應用:真空脫泡、VOD真空吹氧脫碳法等。
一類是以半導體行業為代表,要求真空泵向被抽空間內的返流為零,以保護工件免受污染。對半導體行業中應用的真空系統的要求大體分為三個等級。
清潔條件下的抽氣,只抽干空氣或含少許水蒸汽的空氣。
中等條件下的抽氣,抽除工藝過程的反應氣體,但無固體顆粒物。
惡劣條件下的抽氣,抽除化學反應物(有毒甚至致癌)及固體顆粒物。
另一類是以石化行業為代表,要求真空泵能大量抽除可凝性氣體,或腐蝕性氣體,或有毒氣體,或含有微塵的氣體。螺桿式干式真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫藥、食品工業等領域。在半導體工業中用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD制程。
在核工業中用于核反應堆及核工業真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑,在脂肪酸生產中用來消除水污染,清除噴射器中的阻塞物;醫藥工業中用于回收藥液及藥物中間體,為人造器官生產提供清潔無菌條件,回收氣體消毒劑;食品工業中用于香料、香精濃縮,食品包裝等。
—END—
德耐爾股份業務
產品涵蓋離心式壓縮機噴油螺桿空壓機無油空壓機
動式空壓機往復式壓縮機工業真空泵離心式鼓風機等七大工業氣體應用領域
秉持高端·節能·直銷的產品與服務定位
集研發、制造、直銷與服務于一體
 
聯系方式
德耐爾節能科技(上海)股份有限公司
咨詢熱線:400-820-0603
郵箱地址:maweiwei@denair.cn
地址:上海市金山區亭楓公路6767號
網址:m.tbhm.com.cn  /  www.denaircompressor.com
 

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